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ALCATEL分子泵的安装环境你了解几个因素

发表时间:2020-08-24      点击次数:767
   ALCATEL分子泵是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备,广泛应用于IC生产制造的各个工艺。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。确认安装环境必须满足如下条件: 
  1) 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs); 
  2) 环境放射性强度<105rad; 
  3) 环境温度为5~40℃; 
  4) 空气相对湿度:≤85%; 
  5) 电压:220±22V,频率:50±1Hz; 
  6) 海拔:≤3000米。 
  安装前应检查分子泵运输中是否被损坏:打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。若存在异常现象,应及时通知我公司,不得自行处理,否则由此带来损失我公司概不负责。    
  不允许将分子泵长期置于大气状态下存放,在打开进气口和排气口盲板时,应注意真空卫生要求,严禁杂物、灰尘等落入泵内。安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
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